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感測器技術運用哪些物理原理

發布時間:2022-06-30 16:52:36

1. 感測器原理

按被測物理量劃分的感測器,常見的有:溫度感測器、濕度感測器、壓力感測器、位移感測器、流量感測器、液位感測器、力感測器、加速度感測器、轉矩感測器等。
按工作原理可劃分為:
1. 電學式感測器 電學式感測器是非電量電測技術中應用范圍較廣的一種感測器,常用的有電阻式感測器、電容式感測器、電感式感測器、磁電式感測器及電渦流式感測器等。
電阻式感測器是利用變阻器將被測非電量轉換為電阻信號的原理製成。電阻式感測器一般有電位器式、觸點變阻式、電阻應變片式及壓阻式感測器等。電阻式感測器主要用於位移、壓力、力、應變、力矩、氣流流速、液位和液體流量等參數的測量。
電容式感測器是利用改變電容的幾何尺寸或改變介質的性質和含量,從而使電容量發生變化的原理製成。主要用於壓力、位移、液位、厚度、水分含量等參數的測量。
電感式感測器是利用改變磁路幾何尺寸、磁體位置來改變電感或互感的電感量或壓磁效應原理製成的。主要用於位移、壓力、力、振動、加速度等參數的測量。
磁電式感測器是利用電磁感應原理,把被測非電量轉換成電量製成。主要用於流量、轉速和位移等參數的測量。
電渦流式感測器是利用金屬在磁場中運動切割磁力線,在金屬內形成渦流的原理製成。主要用於位移及厚度等參數的測量。
2. 磁學式感測器
磁學式感測器是利用鐵磁物質的一些物理效應而製成的,主要用於位移、轉矩等參數的測量。
3. 光電式感測器
光電式感測器在非電量電測及自動控制技術中佔有重要的地位。它是利用光電器件的光電效應和光學原理製成的,主要用於光強、光通量、位移、濃度等參數的測量。
4. 電勢型感測器
電勢型感測器是利用熱電效應、光電效應、霍爾效應等原理製成,主要用於溫度、磁通、電流、速度、光強、熱輻射等參數的測量。
5. 電荷感測器
電荷感測器是利用壓電效應原理製成的,主要用於力及加速度的測量。
6. 半導體感測器
半導體感測器是利用半導體的壓阻效應、內光電效應、磁電效應、半導體與氣體接觸產生物質變化等原理製成,主要用於溫度、濕度、壓力、加速度、磁場和有害氣體的測量。
7. 諧振式感測器
諧振式感測器是利用改變電或機械的固有參數來改變諧振頻率的原理製成,主要用來測量壓力。
8. 電化學式感測器
電化學式感測器是以離子導電為基礎製成,根據其電特性的形成不同,電化學感測器可分為電位式感測器、電導式感測器、電量式感測器、極譜式感測器和電解式感測器等。電化學式感測器主要用於分析氣體、液體或溶於液體的固體成分、液體的酸鹼度、電導率及氧化還原電位等參數的測量。

2. 感測技術原理是什麼

SD感測技術是新一代智能化的感測。但它的原理基礎依然來源於最初的感測技術。固體感測器,這種感測器由半導體、電介質、磁性材料等固體元件構成,是利用材料某些特性製成的。如:利用熱電效應、霍爾效應、光敏效應,分別製成熱電偶感測器、霍爾感測器、光敏感測器等。只是現代化的感測集合了微電子,集成電路,數據存儲,分析,優化。

3. 感測器的原理及應用有哪些

感測器是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,並能將感受到的信息,按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。

應用:

1、感測器是獲取自然和生產領域中信息的主要途徑與手段。

2、在現代工業生產尤其是自動化生產過程中,要用各種感測器來監視和控制生產過程中的各個參數,使設備工作在正常狀態或最佳狀態,並使產品達到最好的質量。

3、在基礎學科研究中,感測器更具有突出的地位。現代科學技術的發展,進入了許多新領域:例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙,微觀上要觀察小到fm的粒子世界,縱向上要觀察長達數十萬年的天體演化,短到 s的瞬間反應。

(3)感測器技術運用哪些物理原理擴展閱讀:

感測器的存在和發展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體慢慢變得活了起來。通常根據其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類。

敏感元件直接感受被測量,並輸出與被測量有確定關系的物理量信號;轉換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉換為電信號;變換電路負責對轉換元件輸出的電信號進行放大調制;轉換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電。

感測器中的電阻應變片具有金屬的應變效應,即在外力作用下產生機械形變,從而使電阻值隨之發生相應的變化。電阻應變片主要有金屬和半導體兩類,金屬應變片有金屬絲式、箔式、薄膜式之分。半導體應變片具有靈敏度高(通常是絲式、箔式的幾十倍)、橫向效應小等優點。

4. 感測器工作的物理基礎的基本定律主要有哪些類型

感測器之所以具有能量信息轉換的機能,在於它的工作機理是基於各種物理的、化學的和生物的效應並受相應的定律和法則所支配,了解這些定律和法則有助於我們對感測器本質的理解和對新效應感測器的開發。
作為感測器工作物理基礎的基本定律大致有以下四種類型:
1)守恆定律:包括能量,動量、電荷量等守恆定律。這些定律,是我們探索,研製新型感測器時或在分析、綜合現有感測器時,都必須嚴格遵守的基本法則。
2)場的定律:包括動力場的運動定律、電磁場的感應定律等,其作用與物體在空間的位置及分布狀態有關。一般可由物理方程給出,這些方程可作為許多感測器工作的數學模型。例如:利用靜電場定律研製的電容式感測器,利用電磁感應定律研製的電感(自感或互感)式感測器,利用運動定律與電磁感應定律研製的電動式傳惑器等等。利用場的定律構成的感測器,可統稱為「結構型感測器」。
3)物質定律:它是表示各種物質本身內在性質的定律(如虎克定律、歐姆定律等),通常以這種物質所固有的物理常數加以描述。因此,這些常數的大小決定著感測器的主要性能。如:利用半導體物質法則的壓阻、熱阻、光阻,濕阻等效應,可分別做成壓敏,熱敏,光敏,濕敏等器件,利用壓電晶體物質法則—壓電效應,可製成壓電感測器等等。這種基於物質定律的感測器,可統稱為「物性型感測器」。這是當代感測器技術領域中具有廣闊發展前景的感測器。
4)統計法則:它是把微觀系統與宏觀系統聯系起來的物理法則。這些法則,常常與感測器的工作狀態有關,它是分析某些感測器的理論基礎。這方面的研究尚待進一步深入。

5. 感測器中用到的主要物理概念有哪些

感測器(英文名稱:transcer/sensor)是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,並能將感受到的信息,按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。
感測器的特點包括:微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網路化。它是實現自動檢測和自動控制的首要環節。感測器的存在和發展,讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,讓物體慢慢變得活了起來。通常根據其基本感知功能分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類

新技術革命的到來,世界開始進入信息時代。在利用信息的過程中,首先要解決的就是要獲取准確可靠的信息,而感測器是獲取自然和生產領域中信息的主要途徑與手段。
在現代工業生產尤其是自動化生產過程中,要用各種感測器來監視和控制生產過程中的各個參數,使設備工作在正常狀態或最佳狀態,並使產品達到最好的質量。因此可以說,沒有眾多的優良的感測器,現代化生產也就失去了基礎。
在基礎學科研究中,感測器更具有突出的地位。現代科學技術的發展,進入了許多新領域:例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙,微觀上要觀察小到fm的粒子世界,縱向上要觀察長達數十萬年的天體演化,短到 s的瞬間反應。此外,還出現了對深化物質認識、開拓新能源、新材料等具有重要作用的各種極端技術研究,如超高溫、超低溫、超高壓、超高真空、超強磁場、超弱磁場等等。顯然,要獲取大量人類感官無法直接獲取的信息,沒有相適應的感測器是不可能的。許多基礎科學研究的障礙,首先就在於對象信息的獲取存在困難,而一些新機理和高靈敏度的檢測感測器的出現,往往會導致該領域內的突破。一些感測器的發展,往往是一些邊緣學科開發的先驅。
感測器早已滲透到諸如工業生產、宇宙開發、海洋探測、環境保護、資源調查、醫學診斷、生物工程、甚至文物保護等等極其之泛的領域。可以毫不誇張地說,從茫茫的太空,到浩瀚的海洋,以至各種復雜的工程系統,幾乎每一個現代化項目,都離不開各種各樣的感測器。

6. 感測器的種類和基本原理

生活中的感測器有以下種類:

1、感測器有哪些種類--光感測器

光感測器利用的是半導體的光導效應或光生伏特效應。光生伏特效應是通過光照射,將半導體PN結處產生的電壓或電流作為輸出加以檢測。如光敏二級管,光敏三級管等。這些效應都是利用了光的量子性質。最常見的應用實例,就是光控燈。

2、感測器有哪些種類--溫度感測器

用於檢測溫度的物理效應當中,除了利用塞貝克效應的熱電偶外,通常利用Pt,W等的金屬和氧氣物半導體以及非氧化物半導體,有機半導體等的電阻隨溫度變化來作為溫度感測器的.。此外,還有利用PN結處電流——電壓特性隨溫度的變化,利用居里溫度附近磁特性和介電常數變化的感測器,利用介電常數和壓電常數的變化,來檢測其共振頻率變化的溫度的感器等。最常見的應用實例,就是空調的控溫了。

3、感測器有哪些種類--壓力感測器

大多數壓力感測器都是利用了某種壓阻效應。所謂壓阻效應,就是當壓力施加於電阻體上時,會使其電阻值發生變化,這種現象稱為壓阻現象比金屬電阻的變化明顯得多,其主要是因在受壓後其電子或空穴的遷移率發生變化。最常見的應用實例,就是電子稱了。

4、感測器有哪些種類--磁感測器

磁感測器常用的效應是霍爾效應與磁阻效應。利用霍爾效應的元件是霍爾元件,它是在一半導體薄片兩端之間通以電流,如果在薄片垂直方向外加一磁場,則載流子在羅倫茲力的作用下,將沿著與磁場方向垂直的方向移動,若在該方向上設置電極,則可檢測出電壓來 (霍爾電壓)。最常見的應用實例,就是電動車的調速方法了。

汽車感測器

5、感測器有哪些種類--氣體感測器

氣體感測器實際就是半導體氣體感測器。主要是氣體的吸附效應。如半導體 SnO2燒結製成的氣敏感測器,其為多晶體,當表面吸附氣體分子時,就會在氣體分子與燒結體之間發生電子交換。控制載流子運動的晶粒界面處的勢壘會發生變化。若在燒結體上設置兩個電極,其間電阻將隨氣體分子吸附情況而增減。一般在還原性氣體中電阻值會減少,在氧化性氣體中電阻值會增加。最常見的應用實例,就是各種煙霧報警器了。

感測器的作用實際上是一種功能塊,其作用是將來自外界的各種信號轉換成電信號。感測器所檢測的信號近來顯著地增加,因而其品種也極其繁多。

7. 感測器原理孟立凡

1、壓電壓力感測器

壓電式壓力感測器主要基於壓電效應(Piezoelectric effect),利用電氣元件和其他機械把待測的壓力轉換成為電量,再進行相關測量工作的測量精密儀器,比如很多壓力變送器和壓力感測器。壓電感測器不可以應用在靜態的測量當中,原因是受到外力作用後的電荷,當迴路有無限大的輸入抗阻的時候,才可以得以保存下來。但是實際上並不是這樣的。因此壓電感測器只可以應用在動態的測量當中。它主要的壓電材料是:磷酸二氫胺、酒石酸鉀鈉和石英。壓電效應就是在石英上發現的。

當應力發生變化的時候,電場的變化很小很小,其他的一些壓電晶體就會替代石英。酒石酸鉀鈉,它是具有很大的壓電系數和壓電靈敏度的,但是,它只可以使用在室內的濕度和溫度都比較低的地方。磷酸二氫胺是一種人造晶體,它可以在很高的濕度和很高的溫度的環境中使用,所以,它的應用是非常廣泛的。隨著技術的發展,壓電效應也已經在多晶體上得到應用了。例如:壓電陶瓷,鈮鎂酸壓電陶瓷、鈮酸鹽系壓電陶瓷和鈦酸鋇壓電陶瓷等等都包括在內。

以壓電效應為工作原理的感測器,是機電轉換式和自發電式感測器。它的敏感元件是用壓電的材料製作而成的,而當壓電材料受到外力作用的時候,它的表面會形成電荷,電荷會通過電荷放大器、測量電路的放大以及變換阻抗以後,就會被轉換成為與所受到的外力成正比關系的電量輸出。它是用來測量力以及可以轉換成為力的非電物理量,例如:

加速度和壓力。它有很多優點:重量較輕、工作可靠、結構很簡單、信噪比很高、靈敏度很高以及信頻寬等等。但是它也存在著某些缺點:有部分電壓材料忌潮濕,因此需要採取一系列的防潮措施,而輸出電流的響應又比較差,那就要使用電荷放大器或者高輸入阻抗電路來彌補這個缺點,讓儀器更好地工作。

2、壓阻壓力感測器

壓阻壓力感測器主要基於壓阻效應(Piezoresistive effect)。壓阻效應是用來描述材料在受到機械式應力下所產生的電阻變化。不同於上述壓電效應,壓阻效應只產生阻抗變化,並不會產生電荷。

大多數金屬材料與半導體材料都被發現具有壓阻效應。其中半導體材料中的壓阻效應遠大於金屬。由於硅是現今集成電路的主要,以硅製作而成的壓阻性元件的應用就變得非常有意義。的電阻變化不單是來自與應力有關的幾何形變,而且也來自材料本身與應力相關的電阻,這使得其程度因子大於金屬數百倍之多。N型硅的電阻變化主要是由於其三個導帶谷對的位移所造成不同遷移率的導帶谷間的載子重新分布,進而使得電子在不同流動方向上的遷移率發生改變。其次是由於來自與導帶谷形狀的改變相關的等效質量(effective mass)的變化。在P型硅中,此現象變得更復雜,而且也導致等效質量改變及電洞轉換。

壓阻壓力感測器一般通過引線接入惠斯登電橋中。平時敏感芯體沒有外加壓力作用,電橋處於平衡狀態(稱為零位),當感測器受壓後晶元電阻發生變化,電橋將失去平衡。若給電橋加一個恆定電流或電壓電源,電橋將輸出與壓力對應的電壓信號,這樣感測器的電阻變化通過電橋轉換成壓力信號輸出。電橋檢測出電阻值的變化,經過放大後,再經過電壓電流的轉換,變換成相應的電流信號,該電流信號通過非線性校正環路的補償,即產生了輸入電壓成線性對應關系的4~20mA的標准輸出信號。

為減小溫度變化對芯體電阻值的影響,提高測量精度,壓力感測器都採用溫度補償措施使其零點漂移、靈敏度、線性度、穩定性等技術指標保持較高水平。

3、電容式壓力感測器

電容式壓力感測器是一種利用電容作為敏感元件,將被測壓力轉換成電容值改變的壓力感測器。這種壓力感測器一般採用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極,當薄膜感受壓力而變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力感測器屬於極距變化型電容式感測器,可分為單電容式壓力感測器和差動電容式壓力感測器。

單電容式壓力感測器由圓形薄膜與固定電極構成。薄膜在壓力的作用下變形,從而改變電容器的容量,其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀,膜片為周邊固定的張緊平面,膜片可用塑料鍍金屬層的方法製成。這種型式適於測量低壓,並有較高過載能力。還可以採用帶活塞動極膜片製成測量高壓的單電容式壓力感測器。這種型式可減小膜片的直接受壓面積,以便採用較薄的膜片提高靈敏度。它還與各種補償和保護部以及放大電路整體封裝在一起,以便提高抗干擾能力。這種感測器適於測量動態高壓和對飛行器進行遙測。單電容式壓力感測器還有傳聲器式(即話筒式)和聽診器式等型式。

差動電容式壓力感測器的受壓膜片電極位於兩個固定電極之間,構成兩個電容器。在壓力的作用下一個電容器的容量增大而另一個則相應減小,測量結果由差動式電路輸出。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而製成。過載時膜片受到凹面的保護而不致破裂。差動電容式壓力感測器比單電容式的靈敏度高、線性度好,但加工較困難(特別是難以保證對稱性),而且不能實現對被測氣體或液體的隔離,因此不宜於工作在有腐蝕性或雜質的流體中。

8. 感測器工作的物理基礎的基本定律和法則主要有哪些類型

之所以具有能量信息轉換的機能,在於它的工作機理是基於各種物理的、化學的和生物的效應並受相應的定律和法則所支配,了解這些定律和法則有助於我們對感測器本質的理解和對新效應感測器的開發。
作為感測器工作物理基礎的基本定律大致有以下四種類型:
1)守恆定律:包括能量,動量、電荷量等守恆定律。這些定律,是我們探索,研製新型感測器時或在分析、綜合現有感測器時,都必須嚴格遵守的基本法則。
2)場的定律:包括動力場的運動定律、電磁場的感應定律等,其作用與物體在空間的位置及分布狀態有關。一般可由物理方程給出,這些方程可作為許多感測器工作的數學模型。例如:利用靜電場定律研製的電容式感測器,利用電磁感應定律研製的電感(自感或互感)式感測器,利用運動定律與電磁感應定律研製的電動式傳惑器等等。利用場的定律構成的感測器,可統稱為 結構型感測器 。
3)物質定律:它是表示各種物質本身內在性質的定律(如虎克定律、歐姆定律等),通常以這種物質所固有的物理常數加以描述。因此,這些常數的大小決定著感測器的主要性能。如:利用半導體物質法則的壓阻、熱阻、光阻,濕阻等效應,可分別做成壓敏,熱敏,光敏,濕敏等器件,利用壓電晶體物質法則 壓電效應,可製成壓電感測器等等。這種基於物質定律的感測器,可統稱為 物性型感測器 。這是當代感測器技術領域中具有廣闊發展前景的感測器。
4)統計法則:它是把微觀系統與宏觀系統聯系起來的物理法則。這些法則,常常與感測器的工作狀態有關,它是分析某些感測器的理論基礎。這方面的研究尚待進一步深入。

9. 感測器原理及應用 看看挺受用的

感測器是一種檢測裝置,能感受到被測量的信息,並能將感受到的信息,按一定規律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出,以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。下面為大家介紹感測器原理及應用。




一、原理

1、壓電感測器:基於壓電效應的感測器。是一種自發電式和機電轉換式感測器。它的敏感元件由壓電材料製成。壓電材料受力後表面產生電荷。此電荷經電荷放大器和測量電路放大和變換阻抗後就成為正比於所受外力的電量輸出。壓電式感測器用於測量力和能變換為力的非電物理量,如壓力、加速度等(見壓電式壓力感測器、加速度計)。

它的優點是頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結構簡單、工作可靠和重量輕等。缺點是某些壓電材料需要防潮措施,而且輸出的直流響應差,需要採用高輸入阻抗電路或電荷放大器來克服這一缺陷。配套儀表和低雜訊、小電容、高絕緣電阻電纜的出現,使壓電感測器的使用更為方便。它廣泛應用於工程力學、生物醫學、電聲學等技術領域。

2、應變感測器:應變感測器是國內外應用較廣泛的一種,它是以電阻應變計為轉換元件,將非電量如:力、壓力、位移、加速度、扭矩等參數轉換為電量。

3、光電感測器:將光信號轉換成電信號的感測器

4、熱電感測器:將熱信號轉換成電信號的感測器

5、電容式壓力感測器簡介

科學技術的不斷發展極大地豐富了壓力測量產品的種類,現在,壓力感測器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應變式感測器最為多見。

金屬應變式壓力感測器是一種歷史較長的壓力感測器,但由於它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點,其應用場合受到了很大的限制。

壓阻式感測器是利用半導體壓阻效應製造的一種新型的感測器,它具有製造方便,成本低廉等特點,但由於半導體材料對溫度極為敏感,所以其性能受溫度影響較大,產品的一致性較差。




二、應用

常將感測器的功能與人類5大感覺器官相比擬:

光敏感測器——視覺

聲敏感測器——聽覺

氣敏感測器——嗅覺

化學感測器——味覺

壓敏、溫敏、流體感測器——觸覺

敏感元件的分類:

物理類,基於力、熱、光、電、磁和聲等物理效應。

化學類,基於化學反應的原理。

生物類,基於酶、抗體、和激素等分子識別功能。

通常據其基本感知功能可分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大類(還有人曾將敏感元件分46類)。




以上介紹了感測器的原理及相應的應用,希望您能有所幫助!更多請繼續關注土巴兔裝修網。

10. 闡述現代新型感測器的原理及技術

感測器工作原理的分類物理感測器應用的是物理效應,諸如壓電效應,磁致伸縮現象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。
化學感測器包括那些以化學吸附、電化學反應等現象為因果關系的感測器,被測信號量的微小變化也將轉換成電信號。
有些感測器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學類。大多數感測器是以物理原理為基礎運作的。化學感測器技術問題較多,例如可靠性問題,規模生產的可能性,價格問題等,解決了這類難題,化學感測器的應用將會有巨大增長。

常見感測器的應用領域和工作原理列於表1.1。

按照其用途,感測器可分類為:

壓力敏和力敏感測器 �位置感測器

液面感測器 �能耗感測器

速度感測器 �熱敏感測器

加速度感測器 �射線輻射感測器

振動感測器� 濕敏感測器

磁敏感測器� 氣敏感測器

真空度感測器� 生物感測器等。�

以其輸出信號為標准可將感測器分為:

模擬感測器——將被測量的非電學量轉換成模擬電信號。�

數字感測器——將被測量的非電學量轉換成數字輸出信號(包括直接和間接轉換)。�

膺數字感測器——將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。�

開關感測器——當一個被測量的信號達到某個特定的閾值時,感測器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信號。

在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特徵性的反應。它們中的那些對外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來製作感測器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發可將感測器分成下列幾類:

(1)按照其所用材料的類別分�

金屬� 聚合物� 陶瓷� 混合物�

(2)按材料的物理性質分� � 導體� 絕緣體� 半導體� 磁性材料�

(3)按材料的晶體結構分�

單晶� 多晶� 非晶材料�

與採用新材料緊密相關的感測器開發工作,可以歸納為下述三個方向:�

(1)在已知的材料中探索新的現象、效應和反應,然後使它們能在感測器技術中得到實際使用。�

(2)探索新的材料,應用那些已知的現象、效應和反應來改進感測器技術。�

(3)在研究新型材料的基礎上探索新現象、新效應和反應,並在感測器技術中加以具體實施。�
現代感測器製造業的進展取決於用於感測器技術的新材料和敏感元件的開發強度。感測器開發的基本趨勢是和半導體以及介質材料的應用密切關聯的。表1.2中給出了一些可用於感測器技術的、能夠轉換能量形式的材料。�
按照其製造工藝,可以將感測器區分為:

集成感測器�薄膜感測器�厚膜感測器�陶瓷感測器
集成感測器是用標準的生產硅基半導體集成電路的工藝技術製造的。通常還將用於初步處理被測信號的部分電路也集成在同一晶元上。�
薄膜感測器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路製造在此基板上。�
厚膜感測器是利用相應材料的漿料,塗覆在陶瓷基片上製成的,基片通常是Al2O3製成的,然後進行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷感測器採用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產。�
完成適當的預備性操作之後,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷感測器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。�
每種工藝技術都有自己的優點和不足。由於研究、開發和生產所需的資本投入較低,以及感測器參數的高穩定性等原因,採用陶瓷和厚膜感測器比較合理。

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